[摘要]空气由空调箱经风管与无尘车间内之空气过滤器(HEPA)进入无尘车间，并由无尘车间两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于无尘车间等级1,000-100,000级。
1.乱流式：
空气由空调箱经风管与无尘车间内之空气过滤器(HEPA)进入无尘车间，并由无尘车间两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于无尘车间等级1,000-100,000级。
优点：结构简单、系统缔造成本，无尘车间之扩大对比简单，在某些特殊用途场合，可并用无尘工作台，进步无尘车间等级。
缺陷：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制无尘车间程商品。另外若系统中止工作再激活，欲达需要之洁净度，通常须耗时适当长一段时间。
2.层流式：
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由掩盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两边隔墙板回风，此型式适用于无尘车间等级需定较高之环境使用，通常其无尘车间等级为Class 1~100。
其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙面之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，通常在下流侧污染较严峻。
优点：结构简单，工作后短时间内即可成为稳定。
缺陷：缔造费用比乱流式高，室内空间不易扩大。
(2)笔直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器掩盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所发生的尘埃可迅速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：办理简单，工作开始短时间内即可达稳定状况，不易为工作状况或工作人员所影响。
缺陷：结构费用较高，弹性使用空间艰难，天花板之吊架适当占空间，修理替换过滤器较麻烦。
3.复合式：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供部分超洁净之空气