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发布于：2015年07月20日
来源：www.szfuhai.com
[摘要]μscan系列共聚焦显微镜采用模块化设计，特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化。
μscan系列共聚焦显微镜采用模块化设计，特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化。
μscan系列共聚焦显微镜的技术参数
1. 测量原理：非接触，激光共聚焦2. 扫描模块：
2.1 XY方向测量范围50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm（可选）,马达驱动
2.2 XY方向平台分辨率0.5um
2.3 Z方向位移范围100mm
2.4 最大测量速度50mm/S.
3. 传感器模块
3.1 共聚焦传感器，激光光源1.5 µm spot size，1 kHz data rate
3.2 Z方向分辨率0,02um
3.3 XY方向分辨率1um，可连续一次扫描成像，最大范围达到200mmX200mm
3.4 工作距离 4mm
3.5 Z方向测量范围1mm
4 系统配置
4.1 计算机：高性能计算机控制系统；
4.2 配有专业工作台， 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm)
4.3 可为CF传感器选配离轴摄像头(10X)，最大视野8 x 6 mm²
4.4 功能全面的软件
4.5 数据分析：轮廓测量、宽度，高度，角度，半径、粗糙度等二维、三维数据分析
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上海曼戈斐光学技术有限公司主营产品：共聚焦显微镜,全自动影像仪,全自动晶元检测系统,太阳能表面检测系统,自动影像仪,共聚焦显微镜,光学测量仪,便携式共聚焦显微镜，白光共聚焦显微镜，激光共聚焦显微镜，3D共聚焦显微镜。
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