NanoFocus可提供µsurf custom以满足客户的具体要求。采用了模块化设计,丰富的硬件与软件可以由客户选择。归功于模块化设计,测量系统可满足不同的测量任务和自动化需求,测量方便、准确。usurf custom是自动化质量控制的保证,在研究实验室和生产环境有广泛的应用。
µsurf custom共聚焦显微镜技术参数
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间:2~10秒
测量原理:非接触、共聚焦
X/Y方向:平台移动范围:100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可选),马达驱动,X/Y方向分辨率:0.3μm
Z方向测量范围:350μm,Z方向分辨率:< 1nm
物镜:10X、20X、50X、100X(可选)
离轴摄像头(10X),最大视野8 x 6 mm2(选配)
计算机:高性能计算机控制系统,功能强大且全面的软件,有拼接功能
配有专业工作台:尺寸1550x800x750 mm (LxWxH)
工作电源:100-240V, 50-60Hz,input: 550 VA
材质:钢铁、橡胶、大理石
重量:约150KG+80KG
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
公司主营产品:共聚焦显微镜,全自动影像仪,全自动晶元检测系统,太阳能表面检测系统,自动影像仪,共聚焦显微镜,光学测量仪,便携式共聚焦显微镜。
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