通过Nanofocus共聚焦显微镜的自动化软件μsoft,可以轻易地对客户具体测量要求和复杂的评估指标进行配置。测量结果直接在预先定义的评估协议中进行评估或者通过各种数据接口(例如SECS-GEM接口)进一步输出到相关软件。用户可以对结果进行名义值与实际值对比,或者输出至qs-STAT,Matlab及SPC-charts等进行进一步分析。晶圆示意图输入,光学字符识别,分布式数据管理和条码阅读功能等可以完全满足工业化生产的要求。
得益于基准识别,自动对齐和测量范围追踪等特性,使得μsprint可以自动连续测量而无需人工干预。测量数据和分析结果以最佳文档形式永久保存在分析数据库中,并可用于统计过程控制。
Nanofocus为各个领域的众多知名用户提供自动测量系统。例如半导体生产行业中的晶圆全自动检测,医疗行业中的骨关节植入和牙齿的植入,以及汽车配件行业的微焊接和临界表面的检测。
公司主营产品:共聚焦显微镜,全自动影像仪,全自动晶元检测系统,太阳能表面检测系统,自动影像仪,共聚焦显微镜,光学测量仪,便携式共聚焦显微镜,白光共聚焦显微镜。
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