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要实现自动微进给和要求微量进给装置有较好的特性时，现在都采用压电或电致伸缩式微量进给装置。精密零件加工对电致伸缩微量进给装置机械结构的要求主要有：有较高的剐度和自振频率，自振频率应大于300-500Hz，调整使用方便，应能很方便地调节电致伸缩式传感器的预载力；最好是整体结构，在实现微位移时无摩擦力，结构不要太复杂，便于加工造。 图3.22所示为我国某单位设计的新结构微量进给装置。这种微量进给装置本体、弹性变形元件、位移进给部分是由整体材料制成，是一整体结构，这样可以避免装配接合面的接触刚度对微位移精度的影响。电致伸缩式传感器后端有调节螺钉，可以很方便地调整预载力。为避免电致伸缩式传感器两端受力不平行，后端用钢球加预载力，在预载力调整好后用锁紧螺母将调节螺钉锁死。电致伸缩式传感器在电压作用下伸长时，推动前面刀具的位穆部分前进，实现微量进给。这种微量进给装置刚性和自振频率均较高(7.8kHz)，结构简单体积小，使用方便。在使用长15mm的AVX公司电致伸缩式传感器时，系统分辨率为0.01 lun，最大位移为5.2 pun，系统在200Hz下正常工作，微位移稳定可靠。微量进给装置的应用可实现如下功能：实现微量进给，实现超薄加工，在线误差补偿，用于切削加工非轴对称特殊型面.