[摘要]天津多轴精密气浮运动台用于晶圆切割方案,XY轴采用十字叠层式结构，三片式结构（下轴定子组件、下轴动子组件和上轴动子组件，下轴动子组件和上轴定子组件共用一个组件）组成，优势：尽量避免因叠层引起的阿贝误差
用于晶圆切割方案,XY轴采用十字叠层式结构，三片式结构（下轴定子组件、下轴动子组件和上轴动子组件，下轴动子组件和上轴定子组件共用一个组件）组成，优势：尽量避免因叠层引起的阿贝误差，影响整体精度性能。Y轴（下轴）采用直线导轨，直线电机质心驱动和光栅尺闭环反馈，有效使用行程450mm，直线导轨，直线电机和光栅尺直接安装到大理石基座上，驱动动子组件用于Y方向步进运动。
X轴（上轴）采用精直线导轨直线电机质心驱动和光栅尺闭环反馈，有效使用行程360mm，Y轴直线导轨，直驱电机和光栅尺直接安装到Y轴动子组件上，用于X方向连续扫描切割运动。
XY轴垂直度优于±2arc sec.
θ轴（旋转轴）采用直驱力矩电机，交叉滚子轴承和光栅尺闭环反馈，可360度连续旋转，θ轴直接安装到Y轴上。
真空吸盘安装到θ轴上，所有部件组装完成后相对基准面（大理石平台表面）小于8um.
Z轴采用直线导轨，直线电机质心驱动和光栅尺闭环反馈，行程50mm，低摩擦气缸做配重，安装到龙门桥架上。